凈化車間的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般可分為集中式和分散式兩種類型。集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)是凈化空調(diào)設(shè)備（如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效過濾器、風(fēng)機(jī)等)集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi),用風(fēng)管將潔凈空氣送給各個(gè)潔凈室。分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)是在一般的空調(diào)環(huán)境或低級(jí)別凈化環(huán)境中,設(shè)置凈化設(shè)備或凈化空調(diào)設(shè)備,如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺(tái)等。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,尤其是半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的迅猛發(fā)展,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求越來越高,現(xiàn)今的超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求控制空氣中的0.05μm的微粒濃度和分子級(jí)污染物,因此潔浄室的送風(fēng)方式發(fā)生了很大變化,在半導(dǎo)體芯片工廠或類似生產(chǎn)過程要求高潔凈度的潔凈廠房中,其凈化空調(diào)系統(tǒng)采用循環(huán)空氣方式,其循環(huán)方式主要有集中方式、隧道方式、風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)方式和微環(huán)境+開放式潔凈室方式等。這些送風(fēng)方式既可滿足高潔凈度要求,還可以不同程度地降低能量消耗。
一、集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)
1、單風(fēng)機(jī)系統(tǒng)和雙風(fēng)機(jī)系統(tǒng)
單風(fēng)機(jī)系統(tǒng)的最大優(yōu)點(diǎn)是空調(diào)機(jī)房占用面積小。但相對(duì)雙風(fēng)機(jī)系統(tǒng)而言,其風(fēng)機(jī)的壓頭大,噪聲、振動(dòng)大。采用雙風(fēng)機(jī)可分擔(dān)系統(tǒng)的阻力,此外,在藥廠等生物潔凈室,潔凈室需定期進(jìn)行滅菌消毒,采用雙風(fēng)機(jī)系統(tǒng)在新風(fēng)、排風(fēng)管道設(shè)計(jì)合理時(shí),調(diào)整相應(yīng)的閥門,使系統(tǒng)按直流系統(tǒng)運(yùn)行,便可迅速帶走潔凈室內(nèi)殘留的刺激性氣體。
2、風(fēng)機(jī)串聯(lián)系統(tǒng)和風(fēng)機(jī)并聯(lián)系統(tǒng)
在凈化空調(diào)系統(tǒng)中,通?？諝庹{(diào)節(jié)所需風(fēng)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于凈化所需風(fēng)量,因此潔凈室的回風(fēng)絕大部分只需經(jīng)過過濾就可再循環(huán)使用,而無需回至空調(diào)機(jī)組進(jìn)行熱、濕處理。為了節(jié)省投資和運(yùn)行費(fèi),可將空調(diào)和凈化分開,空調(diào)處理風(fēng)量用小風(fēng)機(jī),凈化處理風(fēng)量用大風(fēng)機(jī),然后將兩臺(tái)風(fēng)機(jī)再串聯(lián)起來構(gòu)成風(fēng)機(jī)串聯(lián)的送風(fēng)系統(tǒng)。
當(dāng)一個(gè)空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)布置有多套凈化空調(diào)系統(tǒng)時(shí),可將幾套系統(tǒng)并聯(lián),并聯(lián)系統(tǒng)可共用一套新風(fēng)機(jī)組,并聯(lián)系統(tǒng)運(yùn)行管理比較靈活,幾臺(tái)空調(diào)設(shè)備還可以互為備用以便檢修。
設(shè)有值班風(fēng)機(jī)的凈化空調(diào)系統(tǒng)也是風(fēng)機(jī)并聯(lián)的一種形式,所謂值班風(fēng)機(jī),就是系統(tǒng)主風(fēng)機(jī)并聯(lián)一個(gè)小風(fēng)機(jī)。其風(fēng)量一般按維持潔凈室正壓和送風(fēng)管路漏損所需空氣量選取,風(fēng)壓按在此風(fēng)量運(yùn)行時(shí)送風(fēng)管路的阻力確定。非工作時(shí)間,主風(fēng)機(jī)停止運(yùn)行而值班風(fēng)機(jī)投入運(yùn)行,使?jié)崈羰揖S持正壓狀態(tài),室內(nèi)潔凈度不至于發(fā)生明顯變化。
二、分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)
1、在集中空調(diào)的環(huán)境中設(shè)置局部?jī)艋b置(微環(huán)境/隔離裝置、空氣自凈器、層流罩潔凈工作臺(tái)、潔凈小室等)構(gòu)成分散式送風(fēng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)。也可稱為半集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
2、在分散式柜式空調(diào)送風(fēng)的環(huán)境中設(shè)置局部?jī)艋b置(高效過濾器送風(fēng)口、高效過湛
器風(fēng)機(jī)機(jī)組、潔凈小室等)構(gòu)成分散式送風(fēng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)。